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日本Horiba STEC UR-714氣體質(zhì)量流量控制器氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進(jìn)行理想的純凈的壓力控制。

日本Horiba STEC UR-714氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介：

UR系列產(chǎn)品為使用高精度壓力傳感器及*效，響應(yīng)迅速壓電陶瓷閥的數(shù)字式調(diào)節(jié)器。它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進(jìn)行理想的純凈的壓力控制。

HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精細(xì)液體流量控制里是非常有名的，以及擁有很大的市場份額。