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美國ALICAT  MCD/MCRD 雙向質量流量控制器

美國ALICAT MCD/MCRD 雙向質量流量控制器

全球首創控制雙向氣體流量的質量流量控制器,量程范圍:0~0.5 sccm 至 0~3000 slpm,另有”Whisper”低壓損雙向流量系列(MCDW)及耐腐蝕雙向流量系列(MCDS)可選。
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美國ALICAT(艾里卡特)
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美國ALICAT  MCD/MCRD 雙向質量流量控制器產品概述:

Alicat 的 MCD 系列數字式雙向質量流量控制器可通過定制化 的高速比例調節閥、正向或反向精測量與控制過程氣體的質 量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設計模式,一臺閥門專 門用于控制進氣、另一臺用于排氣,實現了僅用一臺 MCD 便 可同時控制開放式或密閉容器內上游、下游端流量,以及正 壓、背壓。

Alicat 的 MCD 系列雙閥門質量流量控制器采用專有的內部補 償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動, 充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。*有 Alicat 質 量流量計&質量流量控制器均具有 NIST 可溯源校準證書。

Alicat 的 MCD 系列雙向質量流量控制器配有集成式多功能數字顯示屏,用戶無需使用電腦,僅通過屏幕按 鈕操作便可控制設定值及 PID 閥門調節。內置 98 種標準氣體供選擇,同時開放模擬通訊和 RS-232 數字通 訊模式。另有各類定制化選項供特殊項目需求,如:用于危險環境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區和 CSA(美國)1 類 2 區認證產品等。另有耐腐蝕系列(MCDS)、低壓損系列(MCDW)雙向流量控制器可選。


美國ALICAT  MCD/MCRD 雙向質量流量控制器產品應用:

Alicat 的 MCD 系列雙向質量流量控制器廣泛應用于各行業領域,如:科學研究、泄漏測試、環境監測、真空 鍍膜、半導體、汽車知道、光伏、燃料電池、光線制造、計量以及過程工藝氣體測量等。雙閥設計、多變量 測量&控制、多種氣體標定以及 200:1 量程可調比使 MCD 已然成為一臺通用型設備,可取代多臺設備發揮的 功效。很高可達 0.4%的精度、0.2%重復性及不到 100 毫秒的控制響應時間很大程度優化了氣體控制過程。

MCD 系列雙向質量流量控制器可測量與控制從-0.5 ~ +0.5 SCCM 到-3000 ~ +3000 SLPM 的滿量程的任何流量。



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