德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。該款測振儀可實時測量，無需數據后處理。
德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產品簡介：
德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內振動、及表面形貌測量功能于一體的光學測量工作站。系統具有高靈活性和精度，以滿足顯微結構未來的發展需要。顯微式激光測振儀可提供準確的三維動態和靜態響應數據，在降低開發和制造成本的同時提高產品性能，從而縮短設計周期，簡化故障處理，提高產品產量。
德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產品特點：
集多功能于一體的光學測量工作站
實時測量，無需數據后處理
無法比擬的亞pm位移分辨率
測量速度快，振型可視化顯示
操作界面直觀友好
全自動化測量，易于集成至商用探針臺上
德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀典型應用：
微型結構的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動：
如：梳齒驅動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
微型結構的面內振動：
如：梳齒驅動器、MEMS扭轉激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動
微型結構的表面形貌：
如：梳齒驅動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
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